Kategorijo izdelkov
Kontakt

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Naslov:

Plant 19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kitajska


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Faks:

+86 29 3315 9049


E-naslov:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Service hotline
029 3358 2330

Tehnologija

Dom > TehnologijaVsebine

Specifikacije za Pršilni Cilji in katode materialih

<. strong=""> Specifikacije za Pršilni Cilji in katode materialih

& nbsp;

 vrtljiva naprševanje tarče


< span="" style="font-družina: Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 14px; "> nizko Vsebnost nečistoče, visoke čistosti

Čistost je eden od najpomembnejših indeks uspešnosti naprševanje cilji in katode material, ima velik vpliv na homogenost tankega filma Sedaj zahteva za čistost Pršilni ciljev in katode materialov. je bolj večja. na primer, s hitrim razvojem mikroelektronike industrije, velikost silicijevo rezino razvije iz 6 ", 8" do 12 "in širina ožičenje od 0,5 um zmanjša na 0,25 um, 0,18 um in 0,13 um je čistost 99,995% od Pršilni ciljnih materialov lahko izpolnjuje tehnološke zahteve 0,35 um, zdaj 0,18 um in 0.13um linije potrebna za čistosti 99,999% ali več Pršilni cilje in katode materialov.

& nbsp;

visoke gostote

Prednosti visoke gostote tarče naprševanje in katode materiali so:

- odlično električno prevodnost

- odlična toplotna prevodnost

- visoke trdnosti

V postopku prekrivanja s cilji visoke gostote Pršilni in katode materialov,

Pršilni moč je nižja, stopnja odlaganje je hitrejši, kakovost tanko je bolje, in ni lahko razpoka Življenjska doba Rasprašenje ciljev in katode materialov bo več, bomo. . nivoju tankim slojem z nižjo električno upornost in višjo svetlobno prepustnostjo

& nbsp;

 mikrostruktura-of-CP-titan-vzdolžno smer. jpg

Mikrostruktura titanov Pršilni Cilji razred 2


< span="" style="font-družina: Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 14px; "> Fina velikosti zrn in homogeno mikrostrukture

Boljša velikosti zrn, se debelina tanke plasti distribuirati bolj homogena, stopnja napraševalno bo hitrejši in homogeni od Pršilni ciljev in katode materialov je pomembno zagotovilo za. stalno tankih kakovosti filma

& nbsp;

 ravninski naprševanje tarče


Haohai kovine razvija širok spekter z nizko vsebnostjo nečistot, visoke čistote, visoko gostoto, majhno velikostjo zrn in homogenih cilji mikrostruktura Pršilni in katode, z materiali Titanov cirkonij Krom niobij tantal molibden hafnij Aluminij Silicijev ALTI AlCr NiCr in Sial itd izboljšati svoj postopek prevleke in dobimo gostejše, bolj trpežne in boljše funkcijske plasti

& nbsp;

Prosim, ne oklevajte, da nas kontaktirate preko sale@pvdtarget.com za več informacij in ceno

& nbsp;