Kategorijo izdelkov
Kontakt

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Naslov:

Plant 19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kitajska


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Faks:

+86 29 3315 9049


E-naslov:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Service hotline
029 3358 2330

Novice

Dom > NoviceVsebine

Cilj razprševanja kroma za inertni plin

Cilj razprševanja Chrome

1) Načelo ciljanja krompirja:

Med tarčo (katodo) in anodo sta nameščena ortorhombična magnetna polja in električno polje, potreben inertni plin (navadno Ar plin) pa se polni v visoki vakuumski komori. Stalni magnet tvori 250 do 350 na površini ciljnega materialnega Gaussovega magnetnega polja z visokonapetostnim električnim poljem, sestavljenim iz ortogonalnega elektromagnetnega polja. Pod delovanjem električnega polja se plinski plin ionizira v pozitivne ionov in elektronov, dodaja se tarča z določenim negativnim visokim tlakom, na elektrone, ki jih oddaja cilj, vpliva magnetno polje, verjetnost ionizacije pa se povečuje , Ki tvorijo plazmo visoke gostote v bližini telesa katode, Ar ionov v vlogi Lorentzove sile, da pospešijo let do ciljne površine pri hitri bombardaciji ciljne površine, tako da sledi razprševanju atomov tarč Princip zamenjave impulza z visoko kinetično energijo iz ciljne muhe Podlaga se deponira in deponira. Magnetno brizganje je na splošno razdeljeno na dve vrsti: DC brizganje in RF brizganje, DC brizgalna naprava, ki je načeloma preprosta pri brizganju kovin, njegova hitrost je tudi hitro. Uporaba RF brizganja je obsežnejša, poleg sputtering prevodnega materiala, pa tudi brizganje neprevodnih materialov, lahko pa tudi reaktivno pripravo oploditev oksidov, nitridov in karbidov ter drugih spojin. Če je frekvenca radijske frekvence po mikrovalovni plazemski razpršitvi, in zdaj, običajno uporablja elektronsko ciklotronsko resonanco (ECR) tipa mikrovalovno plazemsko brizganje.

2) Ciljne vrste razprševanja kroma:

Cilj za nanašanje kovine z razprševanjem, tarča prevleke iz zlitin, prevleka iz prevleke iz lahke zlitine, tarč za prevleko iz keramičnih ploščic, tarča za nalaganje keramičnih ploščic, cilindrični cilinder iz karbidne keramike, tarč za frioridne keramike, pršenje z nitridno keramiko Ciljna oksidna keramična tarča, tarča selenidne keramike, silicijev kremenčev cilj, sulfid Tarča keramične razpršilnotežja, telurudska keramična tarča za razprševanje, druga keramična tarča, kromirana keramična tarča (Cr-SiO), indij-fosfidna tarča (InP), ciljni arzenidni cilj (PbAs), indijski arzenidni tar (InAs).