Kategorijo izdelkov
Kontakt

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Naslov:

Plant 19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kitajska


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Faks:

+86 29 3315 9049


E-naslov:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Service hotline
029 3358 2330

Novice

Dom > NoviceVsebine

Smernice in previdnostni ukrepi za uporabo kovinskih razpršilnih ciljev

Smernice in previdnostni ukrepi za uporabo kovinskih razpršilnih ciljev

Prvič, priprava za brizganje

Zelo pomembno je, da vakuumska komora, še posebej sistem brizganja, čistite. Vsi ostanki, ki jih tvorijo mazalna olja in prah ter predoblikovanje, zbirajo vodno paro in druge kontaminante, ki neposredno vplivajo na stopnjo vakuuma, da bi dobili in povečali možnost okvare filma. Cilji nanašanja kovin Kratkostični ali ciljni začetni lok, hrapavost filmske površine in kemične nečistoče so pogosto preseženi zaradi nečistega prostora za brizganje, pištole za brizganje in povzročene tarče. Da bi ohranili sestavo značilnosti prevleke, mora biti plamen (argon ali kisik), ki ga je treba izsesati, čista in suha, v brizgalno komoro v substrat po potrebi po ekstrakciji zraka, da doseže zahtevan postopek vakuuma. Črne ščetine, stene votlih zidov in sosednje površine morajo biti tudi čiste. Pri čiščenju vakuumske komore priporočamo uporabo metode razstreljevanja s steklenimi kroglicami, da hkrati s stisnjenim zrakom obravnavamo dele umazanije, da odstranimo votlino okoli ostankov pred razprševanjem, nato pa na površino nežno prevlečemo glinico iz aluminijevega oksida poliranja. Po poliranju gaze, nato sperite z alkoholom, Metal Sputtering cilji aceton in deionizirane vode, in priporočamo uporabo industrijskega sesalnika za pomožno čiščenje.

POZOR: Pri uporabi cilja hranite čiste in nezaščitene zaščitne rokavice in se izogibajte neposrednemu stiku s tarčo

Drugič, cilj je čist

Namen ciljnega čiščenja je odstraniti prah ali umazanijo, ki so lahko prisotne na površini tarč.

Kovinske cilje je mogoče očistiti s štirimi koraki,

Prvi korak v acetonu, namočeno v mehko krpo, ki ne pušča vlaken, je čista;

Drugi korak je podoben prvemu koraku z alkoholom;

Tretji korak je oprati z deionizirano vodo. Po pranju z deionizirano vodo smo cilj nato postavili v pečico in sušili pri 100 ° C 30 minut.

Čiščenje oksidnega in keramičnega ciljnega čiščenja s krpo, ki ne pušča vlaken.

Korak 4 Ko odstranite umazano območje, cilje Metal Sputtera sperite cilj z argonom pri visokem tlaku in nizki vlagi, da odstranite vse nečistoče, ki lahko povzročijo loke v brizgalnem sistemu

Tretjič, ciljna namestitev

Najpomembnejša stvar, ki jo moramo upoštevati pri namestitvi cilja, je zagotoviti dobro termalno povezavo med ciljno in hladilno steno za brizgalno pištolo. Če je togost ohlajevalne stene huda ali je upogibanje hrbtne plošče hudo, nastane razpokanje ali upogibanje, ko je cilj nameščen, in toplotna prevodnost hrbtnega cilja na tarčo bo močno prizadeta, cilji za razprševanje kovin, ki imajo za posledico segrevanje v procesu brizganja Porazdelitev bo sčasoma privedla do ciljne razpoke ali izklopa cilja

Za zagotovitev zadostne toplotne prevodnosti lahko plast med grafitno steno in tarčo namestimo pod kot. Prepričajte se, da natančno preverite in razjasnite plosko ravnino hladilne stene za brizgalno pištolo, ki jo uporabljate, pri čemer se prepričajte, da je O-obroč vedno v položaju.

Zaradi stopnje čistoče uporabljene hladilne vode in morebitne kontaminacije opreme med delovanjem opreme je treba pri vgradnji cilja pregledati in očistiti rezervoar hladilne vode katode, da se zagotovi gladek pretok hladilna voda ter dovod in odvod Ni dovoljeno blokirati.

Nekateri od katodnih oblik so manjši z anodno vrzeljo, cilji kovinskega razprševanja, zato je namestitev tarče potrebno, da se zagotovi, da katoda in anoda nista v stiku z vodnikom, ne more obstajati, v nasprotnem primeru bo prišlo do kratkega stika.

Za informacije o tem, kako pravilno namestiti cilj, glejte navodila proizvajalca opreme. Če teh navodil nimate v uporabniškem priročniku, poskusite upoštevati priporočila. Ko zategnete ciljno napravo, najprej privijte vijak z roko, nato pa z roko zategnite še en vijak na diagonalu, cilje kovinskega razprševanja tako ponovite, dokler ne namestite vseh vijakov in nato zategnite orodje