Kategorijo izdelkov
Kontakt

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Naslov:

Plant 19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kitajska


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Faks:

+86 29 3315 9049


E-naslov:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Service hotline
029 3358 2330

Novice

Dom > NoviceVsebine

Kako premagati nizko stopnjo izkoriščenosti cilja magnetnega razprševanja

Kako premagati nizko stopnjo izkoriščenosti cilja magnetronskega brizganja

Vrtljivi cilj se pogosto uporablja v sončnih celicah, arhitekturnem steklu, avtomobilskem steklu, polprevodnikih, ravnih televizorjih in drugih panogah.

Cilindrična vrtljiva tarča ima močno magnetno polje, visoko učinkovitost naprševanja tarče, visoko stopnjo nanašanja filma, tarčo za razprševanje in enakomerno filmsko plast lahko odlagajo na velikem ploskovnem substratu na obeh straneh cilja. Hkrati s pomočjo rotacijskega mehanizma za izboljšanje uporabe cilja. Ciljna hlajenje je zadostno, ciljna površina lahko prenese večjo napetost. Kombinacija z vmesno tehnologijo dvojnega ciljnega magnetronskega brizganja lahko znatno izboljša produkcijsko učinkovitost in hkrati zmanjša proizvodne stroške.

Magnetno razprševanje ima številne prednosti, pa tudi obstoj nizke stopnje nanašanja in ciljne površinske jedkanje neenakomerno, nizko izkoriščanje ciljnih napak. Kot je na primer ploskovna tarča ciljna uporaba je na splošno le približno 20% do 30%, je cilj brizganja, ki ima za posledico njeno učinkovito razpršenost relativno nizek. Za nekatere plemenite kovine, kot so zlato, srebro, platina in nekateri cilji zlitine visoke čistosti, kot so priprava filmov ITO, elektromagnetnega filma, superprevodnega filma, dielektričnega filma in drugih plasti plemenitih kovin, kako premagati magnetronsko brizganje Ciljna uporaba je majhna, tanek nanos ni enakomeren, ostale pomanjkljivosti pa so zelo pomembne.

Pravokotne ploskovne magnetronske brizgane ciljne ciljne eterične heterogenosti se večinoma odražajo v dveh vidikih, po eni strani je širina ciljne širine neenakomernega jedkanja, po drugi strani pa razprševanje usmeri na tradicionalno zasnovo pravokotne ravnine, ki jo brizgajoči ciljni brizgalni žleb Steza je zaprta in anomalen etch fenomen je nagnjen k pojavu na diagonalnem položaju ciljnega konca in je jedkanje na spoju med ciljnim koncem in ravnino nenormalno in jedkanje v srednjem območju je plitvo in jedkanje. So vedno diagonalne, zato je pojav znan tudi kot končni učinek ali diagonalni učinek. Učinek končnega etra cilja močno zmanjša enakomernost globine jedra kanala, valjasti rotirajoči cilj pa lahko te težave reši zelo dobro in s tem višjo stopnjo izkoristka.