Kategorijo izdelkov
Kontakt

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Naslov:

Plant 19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kitajska


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Faks:

+86 29 3315 9049


E-naslov:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Service hotline
029 3358 2330

Novice

Dom > NoviceVsebine

Zahteve za ključne ključne zahteve glede silicijevega razprševanja

Kakšne so glavne zahteve glede zmogljivosti za cilje za nanašanje silicija?

Silicijeva ciljna čistost

Čistost je eden od glavnih kazalcev uspešnosti silicijevih tarč za razprševanje, ker čiščenje tarč za brizganje močno vpliva na lastnosti filma. Vendar pa pri praktičnih aplikacijah zahteve glede čistoče za cilje sipalnega brizganja niso enake. Na primer, s hitrim razvojem mikroelektronske industrije je velikost rezin od 6 ", 8" do 12 "in širina ožičenja od 0,5um zmanjšana na 0,25um, 0,18um ali celo 0,13um, pred 99,995% silicijevega brizganja Čistost tarče lahko ustreza zahtevam 0,35umIC postopka, pri čemer priprava 0,18um linije na čistost cilja za silikonsko razprševanje zahteva 99,999% ali celo 99,9999%.

Cilj silicijevega pršenja Vsebnost nečistoč

Silicijeva pršenje Nečistoče v ciljnih trdnih delcih ter kisik in vlaga v poreih so glavni vir kontaminacije nanosnega filma. Različne so zahteve za različne vsebnosti nečistoč v cilindričnih ciklih za različne namene. Na primer, polprevodniška industrija za čiščenje aluminija in aluminijevih zlitin, vsebnost alkalij in vsebnost radioaktivnih elementov ima posebne zahteve.

Ciljna gostota silicijevega brizganja

Da bi zmanjšali poroznost silicijevih ciljnih trdnih sil in izboljšali učinkovitost razpršenega filma, je na splošno zaželeno, da ima cilj silicijevega brizganja večjo gostoto. Gostota tarče za brizganje ne vpliva samo na hitrost brizganja, temveč vpliva tudi na električne in optične lastnosti filma. Višja je gostota silicijevega cilindra, boljša je učinkovitost filma. Poleg tega povečanje gostote in moči silicijevega cilindra za brizganje omogoča, da cilj silicijevega razpršilnika bolje prekorači toplotno obremenitev med razprševanjem. Gostota je tudi eden ključnih kazalcev uspešnosti silicijevih tarč.

Silicijev cilj razprševanja Zrna velikosti in porazdelitve velikosti zrn

Običajno je cilj brizganja polikristalna struktura z velikostjo zrn v vrstnem redu od mikronov do milimetrov. Za isto vrsto silicijevega cilindra je hitrost brizganja cilja finega silikonskega brizganja hitrejša od cilja grobega silikonskega razprševanja. Stopnja razprševanja je majhna (enakomerna porazdelitev) Porazdelitev debeline deponiranega filma je bolj enakomerna.